生产方式：气相法，又称热解法、干法或焚烧法。其质料为四氯化硅、氧气（或空气）和氢气，高温下反响而成。

  空气和氢气别离通过加压、别离、冷却脱水、硅胶枯燥、除尘过滤后送入组成水解炉。将四氯化硅质料送至精馏塔精馏后，在蒸腾器中加热蒸腾，并以枯燥、过滤后的空气为载体，送至组成水解炉。四氯化硅在高温下气化（火焰温度1000~1800℃）后，与一定量的氢和氧（或空气）在1800℃左右的高温下进行气相水解；此刻生成的气相二氧化硅颗粒细，与气体构成气溶胶，不易捕集，故使其先在集合器中集合成较大颗粒，然后经旋风别离器搜集，再送入脱酸炉，用含氮空气吹洗气相二氧化硅至PH值为4～6即为制品亲水性气相二氧化硅(CY-SP15H)。